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半導體及光伏行業上游高純石英砂中碳含量測試解決方案

時間:2025-1-22 16:57:53作者:admin1

一、高純石英砂,撐起產業一片天

在半導體領域,高純石英砂堪稱制造芯片的重要戰略性核心原材料。芯片制造的每一個環節,從硅片制造時拉制單晶硅棒的石英坩堝,到晶圓制造過程中的石英玻璃擴散管、石英舟等石英玻璃器具,再到芯片制造環節光刻、刻蝕和薄膜沉淀所使用的光掩膜基板等,都離不開高純石英砂的參與。其純度、包裹體含量、粒度等指標,直接關乎芯片的性能、穩定性和良品率。

而在光伏行業,高純石英砂同樣扮演著舉足輕重的角色。它主要用于制造直拉單晶硅所需的石英坩堝,石英坩堝作為盛裝熔融硅并制成后續工序所需晶棒的關鍵器具,是光伏產業不可或缺的重要支撐材料,也是硅材料生產的重要配套關鍵性耗材。隨著光伏產業的迅猛發展,對石英坩堝的尺寸、純度、拉晶時間和拉晶次數等方面都提出了更高的要求,高純石英砂的品質和供應穩定性,直接影響著光伏產業的發展進程。

但你知道嗎?在這看似完美的高純石英砂中,卻隱藏著一個可能影響其性能的關鍵因素 —— 碳含量。碳,這個看似普通的元素,在高純石英砂中卻可能引發一系列 “蝴蝶效應”,對下游產品的質量產生深遠影響。

二、碳雜質,隱藏在砂中的 “破壞者”

作為制備石英坩堝的主要原料,高純石英砂的純度直接關乎石英坩堝的質量。而碳,作為一種常見的雜質,若在高純石英砂中含量過高,將會對石英坩堝在高溫等條件下的化學穩定性產生負面影響,甚至可能導致其在使用過程中與被熔煉物質發生化學反應,進而污染被熔煉物。

碳對石英砂主要產品石英坩堝質量的影響是多維度的。在耐高溫性能方面,碳可與石英坩堝中的雜質 “聯手”,形成低熔點化合物,致使坩堝的耐高溫性能大打折扣,在高溫環境下更容易出現軟化、變形等問題。同時,在高溫下,碳若與氧氣發生反應,生成一氧化碳或二氧化碳氣體,會在坩堝內部 “制造” 氣孔或缺陷,不僅降低其結構強度,還會加速坩堝的損壞。

從熱性能角度而言,碳的熱導率與二氧化硅存在差異,因此碳含量的變化會改變石英坩堝的熱導率等熱性能參數。這將導致坩堝在加熱和冷卻過程中溫度分布不均,產生熱應力。當熱應力積累到一定程度,坩堝便可能出現裂紋,不僅縮短其使用壽命,還可能對被熔煉物質的加熱效果和質量產生不利影響。

若石英坩堝用于對光學性能要求較高的光學材料熔煉等領域,碳含量過高還會在坩堝壁上形成黑色或深色雜質區域,影響光的透過和散射等,對后續光學材料的加工和性能產生不良影響。

在半導體制造中,芯片的生產對環境的純凈度要求極高。若石英坩堝中的碳含量超標,在拉晶過程中,碳雜質可能會進入硅晶體,影響其電學性能,導致芯片的性能不穩定,甚至出現廢品。而在光伏領域,碳雜質的存在可能降低光伏電池的轉換效率,增加生產成本,影響整個光伏產業的經濟效益。

三、耶拿方案,精準鎖定碳含量

面對碳含量這一關鍵挑戰,德國耶拿憑借其深厚的技術積累和創新精神,為我們帶來了可靠的解決方案。

multi N/C 3300 總碳分析儀

耶拿 multi N/C 3300 總碳分析儀,無疑是檢測領域的一把 “利器”。它基于燃燒法原理,能夠全自動直接進樣測定液體樣品中的總碳、總有機碳、總無機碳等參數,功能十分強大。當搭配上 HT1300 固體模塊以及用于固體自動進樣的 FPG 48 固體舟自動進樣器時,更是如虎添翼,可實現固體樣品直接進樣測試總碳含量。這一過程無需添加催化劑,也無需對樣品進行繁瑣的包裹處理,方便快捷,大大提高了檢測效率。而且,其結果準確可靠,為我們提供了值得信賴的數據支持。

方案的硬件組成如下圖所示:

在實際操作中,通過固體舟自動進樣器將計量好的石英砂連同陶瓷舟一起送入燃燒爐,進入燃燒爐的樣品實現無催化劑燃燒。燃燒產生的氣體,經凈化進入主機內的碳檢測器,最終輸出精準的碳含量數據。

multi EA4000 元素分析儀

再看耶拿 multi EA4000 元素分析儀,同樣基于燃燒法原理,它可以全自動直接進樣測定固體樣品中總碳含量,并可拓展用于總硫及總氯參數的測定。無需添加催化劑,無需對樣品進行包裹處理,操作簡單方便。它主要由用于固體自動進樣的 FPG 48 固體舟自動進樣器、用于樣品燃燒消解的 EA4000 燃燒爐系統、用于碳含量檢測的檢測器模塊構成。通過固體舟自動進樣器將樣品送入燃燒爐,實現無催化劑燃燒,燃燒產生的氣體經凈化進入碳檢測器,從而得出碳含量結果。

方案的硬件組成如下圖所示:

這兩款分析儀在實際應用中表現出色。以高純石英砂樣品測試為例,使用相應的分析儀搭配 FPG 48 固體自動進樣器進行測試,測試時由自動進樣器將樣品和陶瓷舟自動送入燃燒爐燃燒和氣化,生成對應的產物,最終由相應的檢測器檢測。在測試過程中,碳含量測試采用碳酸鈣作為標樣,稱取不同重量的碳酸鈣繪制標準曲線,相關系數良好,確保了測試的準確性和可靠性。

從實際測試結果來看,耶拿的這兩款分析儀能夠精準地檢測出高純石英砂中的碳含量,為生產企業提供了有力的質量控制依據。在半導體及光伏行業,這樣的精準檢測對于保證產品質量、提高生產效率具有至關重要的意義。

四、實戰案例,數據見證實力

為了讓大家更直觀地了解耶拿方案的實際效果,我們來看一下具體的實戰案例。

multi N/C 3300 總碳分析儀

使用耶拿 multi N/C 3300 總碳分析儀搭配 HT1300 固體模塊以及 FPG 48 固體舟自動進樣器的解決方案,技術人員對一批石英砂粉狀固體樣樣品進行碳含量測試。

4-1 方法參數

在一次檢測中,得到的相關系數高達 0.99992,這表明標準曲線的線性關系極佳,為后續的測試提供了可靠的基礎。

4-1 石英砂中碳含量校準曲線


測試結果如下:

 

4-2 高純石英砂樣品碳測試結果

 

4-2 高純石英砂樣品中碳含量測試過程譜圖 


multi EA4000 元素分析儀

再看另一個使用耶拿 multi EA4000 元素分析儀的案例。采用耶拿 multi EA4000 元素分析儀搭配 FPG 48 固體舟自動進樣器的方案。

4-3 方法參數

在測試過程中,同樣以碳酸鈣為標樣繪制標準曲線,相關系數達到 0.99947 ,線性良好。

4-3 石英砂中碳含量校準曲線 

測試結果如下:

 

4-4 高純石英砂樣品碳測試結果

 

4-4 高純石英砂樣品中碳含量測試過程譜圖

通過這兩個實戰案例可以清晰地看到,耶拿的碳含量測試解決方案在實際應用中表現卓越,能夠為企業和檢測機構提供精準、可靠的數據支持,助力半導體及光伏行業在原材料質量把控上做到精益求精。

五、適用之廣,行業信賴之選

德國耶拿的碳含量測試解決方案,猶如一把萬能鑰匙,在眾多領域都展現出了強大的適用性和可靠性,贏得了行業的廣泛信賴。

在海關實驗室(進口石英砂),石英砂生產企業,石英坩堝生產企業,單晶硅生產企業中,高純石英砂的碳含量的控制至關重要。耶拿的解決方案能夠幫助企業精準檢測碳含量。

德國耶拿的碳含量檢測解決方案,為半導體及光伏行業的發展提供了堅實的技術支撐。通過精準檢測高純石英砂中的碳含量,企業能夠更好地控制產品質量,提高生產效率,降低生產成本,從而在激烈的市場競爭中占據優勢。

展望未來,隨著半導體和光伏行業的持續發展,對高純石英砂的質量要求將越來越高。耶拿也將不斷創新和優化其測試解決方案,以滿足行業日益增長的需求。相信在耶拿等優秀企業的共同努力下,半導體及光伏行業將迎來更加輝煌的明天,為推動全球科技進步和能源轉型做出更大的貢獻。

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